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微觀結構分析
SEM-EBIC
要確定EBIC檢測的打樣定制需求是半導體器件村料且具有內磁場,中用剝離 電子元器件空穴對 使用測定,我門能能夠得到PN結的座位、高寬比,使用IV的曲線深入分析一下來判斷整流形態,可深入分析一下個別載流子的散出直徑,深入分析一下異常現象的座位,網上元器件的已過期分析一下。 例1:檢查PN結所在位置,大小,少子擴撒尺寸
例2:測試圖片光電器件村料的位錯密度運算,化學發光法運算Si日能電池村料中的螺型位錯。
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