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SEM-CL

  陰離子熒光光譜分析圖(cathodoluminescence spectroscopy)通稱CL譜,通常是指合理利用電子廠器件束增進半導體技術,將價通電的子器件增進到導帶并在價帶剩下空穴,其志是因為導帶正養分高不穩定的,被增進電子廠器件又完后躍遷回價帶與空穴組合,并發布出正養分E≤Eg(能隙)的顯著特點熒光譜分析圖。 例1:熔融石英多晶體CL像  

  例2:CL在半導體行業中的APP  

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