Thermo Scientific Scios 2 DualBeam是(shi)一款高分(fen)辨(bian)率(lv)分(fen)析系統,可為的廣泛類(lei)型的樣品,包括磁性和(he)(he)(he)不導電材(cai)料提供出色的樣品制(zhi)備和(he)(he)(he)三維表征性能。 Scios 2 DualBeam系統功能設計,優化(hua)了樣品處理能力、分(fen)析精(jing)度和(he)(he)(he)易(yi)用性,是(shi)滿足科(ke)學家和(he)(he)(he)工程(cheng)師在學術和(he)(he)(he)工業環境中進(jin)行研究和(he)(he)(he)分(fen)析的理想(xiang)解決方案。
Scios 2 DualBeam可快速(su)輕松的(de)定位制備(bei)各類材(cai)料的(de)高分辨S/TEM樣品。系(xi)統配(pei)備(bei)Thermo Scientific Auto Slice&View軟件,可以高質量、全(quan)自動地(di)采集多種三(san)維信(xin)息(xi)。無(wu)(wu)論是在STEM模式下(xia)(xia)以30kV來獲取結構信(xin)息(xi),還是在較(jiao)低(di)的(de)能量下(xia)(xia)從樣品表面獲取無(wu)(wu)荷電信(xin)息(xi),系(xi)統可在很廣泛的(de)工(gong)作條件下(xia)(xia)提(ti)供(gong)出色的(de)納米級細節。Scios 2 DualBeam可幫助所有經(jing)驗水(shui)平的(de)用(yong)戶快速(su)、輕松的(de)獲得高質量、可重復的(de)結果,此外,系(xi)統專為材(cai)料科(ke)學中有挑戰的(de)材(cai)料微(wei)觀(guan)表征需求而設計,配(pei)備(bei)了全(quan)集成化、極快速(su)MEMS熱臺,可在接近真實環境的(de)工(gong)作條件下(xia)(xia)進行(xing)樣品表征。
發(fa)射(she)(she)源:高穩(wen)定型肖特基場(chang)發(fa)射(she)(she)電子槍
分辨率:
☆ 非常好的工作距離下
☆ 30 keV下STEM 0.8 nm
☆ 1 keV下1.6 nm
☆ 1 keV下電子束減速模式1.4 nm
電子束參數:
☆ 探針電流范圍:1 pA ~ 400 nA
☆ 加速電壓范圍:200 V ~ 30 kV
☆ 著陸電壓范圍:20 eV ~ 30 keV
☆ 大水平視場寬度:7 mm WD時為3 mm,60 mm WD時為7.0 nm
☆ 導航蒙太奇功能,可額外增大視場寬度
離子光學:
大束流Sidewinder離子鏡筒
加速電壓范圍:500 V~30 kV
離子束流范圍:1.5 pA ~ 65 nA
15孔光闌
標配不導電樣品漂移抑制模式
離子源壽命至少1000 小時
離子束分辨率30 kV下3.0 nm
樣品室:
☆ 電子束和離子束重合點在分析工作距離處(SEM 7 mm)
☆ 端口:21個
☆ 內寬:379 mm
樣品臺:靈活五軸電動樣品臺
☆ XY范圍:110 mm
☆ Z范圍:65 mm
☆ 旋轉:360° 連續
☆ 傾斜:-15° ~ +90°
☆ XY重復精度:3 μm
☆ zui大樣品尺寸,直徑110 mm,可沿X、Y軸完全旋轉時
☆ zui大樣品高度,與優中心點間隔為85 mm
☆ zui大樣品質量 5 kg(包括樣品托)
☆ 同心旋轉和傾斜
樣品托:
☆ 標準多功能樣品托,以獨特方式直接安裝到樣品臺上,可容納18個標準樣品托架(φ12mm)、3個預傾斜樣品托、2個垂直和2個預傾斜側排托架(38°和90°),樣品安裝無需工具
☆ 每個可選的測排托可容納6個S/TEM銅網
☆ 各種晶片和定制化樣品托可按要求提供(可選)
探測器系統:可同步檢測多達四種信號
☆ 樣品室二次電子探測器ETD
☆ 鏡筒內背散射電子探測器T1
☆ 鏡筒內二次電子探測器T2
☆ 鏡筒內二次電子探測器T3(選配)
☆ IR-CCD紅外相機(觀察樣品臺高度)
☆ 圖像導航彩色光學相機Nav-Cam+™
☆ 高性能離子轉換和電子探測器ICE
☆ 可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態背散射探測器DBS
☆ 電子束流測量
控制系統:
☆ 64 位操作系統、鍵盤、光學鼠標
☆ 圖像顯示:24寸LCD顯示器,高顯示分辨率1920×1200
☆ 支持用戶自定義的GUI,可同時實時顯示四幅圖像
☆ 本地語言支持
多功能控制板與Joystick操縱桿(可選)
特點與用途:
☆ 使用Sidewinder HT離子鏡筒快速、簡便地制備高質量、定位TEM和原子探針樣品;
☆ Thermo Scientific NICol 電子鏡筒可進行高分辨成像,滿足廣泛類型樣品的成像需求;
☆ 各類集成化鏡筒內及極靴下探測器,采集優質、銳利、無荷電圖像,提供完整的樣品信息;
☆ 可選ASV4軟件,精確定位感興趣區域,獲取優質、多模態內部和三維信息;
☆ 高度靈活的110 mm樣品臺和內置的Thermo Scientific Nav-Cam相機實現精確樣品導航;
☆ 專用的DCFI漂移抑制技術和Thermo Scientific SmartScan等模式實現無偽影成像和圖形加工;
☆ 靈活的DualBeam配置,優化解決方案滿足特定應用需求。