品(pin) 牌：Coxem
型(xing)號：SPT-20
該(gai)產品(pin)(pin)自動(dong)真(zhen)空控(kong)制(zhi)，條(tiao)件設置簡單(dan)，可以(yi)實現快速(su)抽真(zhen)空（<2min），對(dui)樣品(pin)(pin)進行鍍膜(mo)處理，完成鍍膜(mo)后可以(yi)自動(dong)卸(xie)載真(zhen)空。同時，樣品(pin)(pin)高度的調節也十分方便。
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技術指標：
1、電源：AC 220V，500W
2、重量：10kg
3、尺寸：420（W）x220（D）x230（H）mm
4、機(ji)械(xie)泵：50L/min（60Hz），AC 220V，150W，14.5kg
5、靶的尺(chi)寸(cun)：直(zhi)徑(jing)50.8mm
6、真(zhen)空度(du)：約0.1torr
7、zui 大(da)低電(dian)壓(ya)：~3kv
離子流(liu)控制(zhi)范圍：1~9mA
特點:
1全自動數字(zi)離子濺射(she)鍍膜(mo)機
2 可一鍵進行離濺射鍍膜，完成鍍膜后可自動(dong)卸載真空(kong)
3具有涂層(ceng)電流反饋功能(neng)的(de)穩定涂層(ceng)
4可用(yong)于Au, Pt, Pd, Pt-Pd各(ge)種金屬(shu)靶
5采用低噪音旋轉泵
