VacCoat公(gong)司
Vac Coat有限公(gong)司(si)是高質量定制物理 氣相(xiang)沉積（PVD）系(xi)統的設(she)計者和(he)制造商(shang)，客戶服務和(he)售后服務出(chu)色。擁有25年以上(shang)真空和(he)薄膜沉積技術經驗。其研發(fa)(fa)團隊在學界(jie)科學家(jia)和(he)工程師(shi)的支(zhi)持(chi)下(xia)，高度積極地開(kai)發(fa)(fa)新設(she)計以滿足(zu)客戶的特殊(shu)要求。
Vac Coat的(de)工程團隊(dui)設計(ji)和(he)制造的(de)組件符合(he)高質量標準。Vac Coat的(de)真空鍍膜機系統已通過分銷商銷往許多(duo)大學和(he)研究中心，并得到了很好的(de)參(can)考和(he)反饋(kui)。
一、DSR1
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儀(yi)器描述：
該產品為臺式磁控濺射鍍膜(mo)機，能(neng)夠在(zai)非(fei)導電或導電不良的(de)樣(yang)品上涂布金（Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的(de)薄膜(mo)。 在(zai)較短時間(jian)內即可形成(cheng)具有細(xi)粒度(du)的(de)均(jun)勻薄膜(mo)，使(shi)樣(yang)品適(shi)用于(yu)掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結構(gou)緊湊，全自動控制，設計符合人體工程學，所得結果(guo)一致，可重(zhong)復性高。
產品特(te)點：
• 7’’彩色觸摸屏：數據輸入簡(jian)單快速(su)
• 通(tong)過觸摸(mo)屏(ping)中(zhong)直(zhi)觀檢測(ce)數據和曲(qu)線(xian)；歷(li)史(shi)頁面可(ke)顯示300個歷(li)史(shi)涂層信息。
• 可(ke)控鍍膜(mo)速率，可(ke)得(de)到更(geng)精細的晶粒結構
• 可(ke)手動(dong)(dong)或(huo)自(zi)動(dong)(dong)，根(gen)據時間(jian)或(huo)根(gen)據厚(hou)度進行濺射
• 可聯(lian)網更(geng)新用戶友(you)好(hao)軟件
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• 可配高精度(du)石英晶體(ti)厚度(du)監(jian)測儀（精度(du)可達(da)1nm）
• 樣(yang)品臺(tai)(tai)(tai)(tai)更換(huan)簡單：標準旋(xuan)轉樣(yang)品臺(tai)(tai)(tai)(tai)或選用(yong)行(xing)星式旋(xuan)轉樣(yang)品臺(tai)(tai)(tai)(tai)。標準樣(yang)品臺(tai)(tai)(tai)(tai)高(gao)度可調(diao)、可傾斜、可旋(xuan)轉；行(xing)星式旋(xuan)轉樣(yang)品臺(tai)(tai)(tai)(tai)為多孔樣(yang)品帶(dai)來好的(de)噴金效果。
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• 可通過USB端(duan)口(kou)將(jiang)曲線和沉積過程數據傳(chuan)輸到PC
• 符合CE標準
產(chan)品參數：
• 2英寸(cun)磁控管(guan)陰極
• 兩級直(zhi)驅4m3/h旋片(pian)機械泵(beng)
• Pyrex樣品(pin)倉：外徑170mm，高140mm，
• 尺寸：50(W) x 37(D) × 45(H) Cm
• 運輸(shu)重量（包括真空泵）：42kg
; • 電源：220V-240V，50 / 60HZ-10A
• 極 限 真空(kong)度：小于40 mTorr
• 電子(zi)控制快門
• 電(dian)子(zi)控(kong)制(zhi)真(zhen)空閥
二、DCR
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儀器描述：
DCR是一臺結構緊湊(cou)的臺式(shi)鍍碳儀。可用于掃描(miao)電子顯微(wei)鏡（SEM）、透射電子顯微(wei)鏡（TEM）和(he)能譜分(fen)析（EDX）制樣(yang)。
產品特點：
• 可進行Flash式或Pulsed式鍍(du)碳：Pulsed脈沖式鍍(du)碳：短(duan)脈沖提供了更加可控的沉積方(fang)式，與傳統鍍(du)碳相比(bi)，碎(sui)屑顯著(zhu)減少
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• 7’’彩(cai)色觸摸(mo)屏：數(shu)(shu)據(ju)輸入簡單快速；真空度(du)、電(dian)流、厚度(du)等鍍膜參(can)數(shu)(shu)可(ke)通過(guo)觸摸(mo)屏中的數(shu)(shu)據(ju)或曲線直觀監(jian)測；歷史頁面可(ke)顯示(shi)300個歷史涂(tu)層(ceng)信(xin)息。
• 可聯(lian)網更新(xin)用戶友好軟件
• 可(ke)記錄(lu)和繪制(zhi)涂層(ceng)參數圖表(biao)
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• 可配高精度(du)石英晶體厚度(du)監測儀（精度(du)可達1nm）
• 樣(yang)品臺更(geng)換(huan)簡單(dan)：標準旋(xuan)轉(zhuan)樣(yang)品臺或選用行星式旋(xuan)轉(zhuan)樣(yang)品臺。標準樣(yang)品臺高度可(ke)(ke)調、可(ke)(ke)傾斜、可(ke)(ke)旋(xuan)轉(zhuan)；行星式旋(xuan)轉(zhuan)樣(yang)品臺為(wei)多孔樣(yang)品帶來好的噴金效果。
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• 可通過(guo)USB端口將曲線和沉積(ji)過(guo)程數據傳輸(shu)到PC
• 符(fu)合CE標準(zhun)
產品參數：
1、真空泵：二極直驅旋片(pian)機械(xie)泵（4m3/h)
2、極 限(xian) 真空(kong)度：小于50 mTorr
3、Pyrex 樣(yang)品倉：外(wai)徑170mm，140mm，
4、0-25 A脈(mo)沖直流(liu)開關電源
5、尺寸：450 x 500 x 370 mm (H x W x D)
6、電源：220V-240V，50 / 60HZ-10A
7、電子控(kong)制快門
8、精密真空壓力控制閥
9、USB數據傳輸(shu)端口
10、運輸重量：46kg
三、DSCR
儀器(qi)描述：
DSCR型(xing)臺(tai)式多功能(neng)鍍(du)膜儀(yi)，是(shi)一臺(tai)緊湊型(xing)涂布系(xi)統，集離(li)子濺射系(xi)統和鍍(du)碳系(xi)統于一體。該系(xi)統能(neng)夠在(zai)不導電或(huo)導電性差的樣品上(shang)濺射金（Au）、鈀（Pd）、鉑(bo)（Pt）和金/鈀（Au/Pd）等貴(gui)金屬，并(bing)且可以在(zai)樣品上(shang)鍍(du)上(shang)碳膜。
DSCR是一臺(tai)多功能掃描電子顯微鏡制樣設(she)備(bei)。全自動操作選項(xiang)使得(de)即使是初(chu)學(xue)者，也可以(yi)輕(qing)松(song)使用系統，形象的用戶友好軟件，簡化(hua)了對沉積信息的感知。
產品(pin)特點：
• 精密可(ke)復制涂(tu)層：可(ke)重復膜厚沉積
• 高(gao)分辨率精細涂層（金顆粒(li)可達2nm）
• 低壓濺射
• 無需冷卻系統
• 可(ke)進行Flash式或Pulsed式鍍(du)碳(tan)：Pulsed脈(mo)沖式鍍(du)碳(tan)：短(duan)脈(mo)沖提(ti)供了(le)更加可(ke)控的沉(chen)積(ji)方式，與傳統鍍(du)碳(tan)相比，碎屑顯著減少可(ke)使用雙碳(tan)纖維蒸鍍(du)，用于厚層沉(chen)積(ji)
• 易(yi)于操(cao)作：7’’彩(cai)色觸摸屏直觀(guan)控制涂布(bu)過程，數據(ju)輸入簡單(dan)快速
• 用戶友好的全自(zi)動及半自(zi)動控(kong)制軟件
• 可(ke)配高精度(du)石英晶體厚度(du)監測儀（精度(du)可(ke)達1nm）
• 樣(yang)品(pin)臺(tai)更換簡單：標準旋轉(zhuan)樣(yang)品(pin)臺(tai)或選用(yong)行(xing)星式(shi)旋轉(zhuan)樣(yang)品(pin)臺(tai)。標準樣(yang)品(pin)臺(tai)高度可調、可傾斜、可旋轉(zhuan)；行(xing)星式(shi)旋轉(zhuan)樣(yang)品(pin)臺(tai)為多孔樣(yang)品(pin)帶來(lai)好(hao)的噴金(jin)效果。
;• 可通過(guo)USB端口將曲線和沉積過(guo)程數據傳輸到PC
• 符(fu)合CE標準(zhun)
產品(pin)參數：
1、真空泵：二極直驅旋轉機械泵（4m3/h)
2、Pyrex 樣(yang)品倉：外徑170mm，140mm，
3、儀器(qi)尺(chi)寸：45（H）x50（W）37×（D）Cm
4、2英寸磁控管陰極
5、極 限 真空度：小于50 mTorr
6、電子控制快門
7、自動控制泄露閥
8、電源(yuan)：220V-240V, 50/60HZ- 10A
9、80W直流開關(guan)電源
10、運(yun)輸重量：42kg
四、DST1-170
產品描述：
DST1-170是一臺(tai)結(jie)構緊湊的臺(tai)式磁控離子濺射(she)(she)儀。適(shi)用(yong)于金(jin)(jin)屬(shu)材料濺射(she)(she)，包(bao)括惰性金(jin)(jin)屬(shu)以及氧化性金(jin)(jin)屬(shu)，DST1-170配有直徑為2英(ying)寸的磁控管陰極(ji)。在較短時間(jian)內即可形成晶粒(li)尺寸均勻的薄膜。
DST1-170高(gao)真空濺射(she)儀(yi)，可提供高(gao)質量的(de)均勻薄(bo)(bo)膜(mo)，具有較細的(de)晶粒(li)尺寸(cun)，十分適(shi)用于(yu)樣品的(de)分辨和品質表(biao)征，如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD，也可應用于(yu)科研(yan)和各種(zhong)薄(bo)(bo)膜(mo)的(de)應用研(yan)究(jiu)中，如：納米和微電(dian)子、太陽能電(dian)池應用、光(guang)學(xue)元件涂(tu)層合薄(bo)(bo)膜(mo)傳感器等。
產品特點(dian)：
• 高(gao)真(zhen)空(kong)渦輪泵90 L/S（Leybold）+二級旋片(pian)式(shi)真(zhen)空(kong)泵的(de)前級泵，為(wei)儀(yi)器提供了潔凈的(de)高(gao)真(zhen)空(kong)，減少了污染(ran)。
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• 涂層速(su)率可控，可獲得更細(xi)的晶粒(li)結構
• 可(ke)手動或自動，根據時(shi)間或根據厚(hou)度進行濺(jian)射
• 7’’彩色觸(chu)(chu)摸屏(ping)(ping)：數(shu)據輸入簡單快速；真(zhen)空度(du)、電流、厚度(du)等鍍(du)膜參(can)數(shu)可通過觸(chu)(chu)摸屏(ping)(ping)中(zhong)的數(shu)據或(huo)曲線(xian)直觀監測；歷史頁面可顯示(shi)300個歷史涂層信(xin)息(xi)。
• 觸摸屏直(zhi)觀地控制涂布過程，數據輸入簡單快速(su)
• 可通過網(wang)絡更(geng)新(xin)的用戶(hu)友好(hao)軟(ruan)件
• 可記錄和繪制涂層參數圖
• 可(ke)配(pei)高精度石英(ying)晶體厚度監測儀（精度可(ke)達1nm）
• 樣品(pin)臺(tai)(tai)(tai)更換簡單：標準(zhun)旋(xuan)轉樣品(pin)臺(tai)(tai)(tai)或(huo)選用(yong)行星(xing)式(shi)旋(xuan)轉樣品(pin)臺(tai)(tai)(tai)。標準(zhun)樣品(pin)臺(tai)(tai)(tai)高度可(ke)(ke)調、可(ke)(ke)傾斜、可(ke)(ke)旋(xuan)轉；行星(xing)式(shi)旋(xuan)轉樣品(pin)臺(tai)(tai)(tai)為多孔樣品(pin)帶來好的(de)噴金效果。
• 可通過(guo)USB端口將(jiang)曲線和沉(chen)積(ji)過(guo)程數據傳輸到(dao)PC
• 符合(he)CE標準
產品參數：
1、高真空(kong)渦(wo)輪泵(beng)90 L/S（Leybold）
2、二極(ji)直驅(qu)旋片(pian)機械(xie)泵（4m3/h)
3、極 限 真空(kong)：小于5x10-6 Torr
4、獨立于壓(ya)力自(zi)動控制濺射功率
5、全量(liang)程真(zhen)空(kong)計（Leybold）
6、ISO-KF 63蝶(die)形閥
7、80 W直流電源
8、電子控制快門(men)
9、電控氬氣泄漏閥
10、設(she)施：220V-240V，50/60HZ-16A
11、運(yun)輸重量：36kg
五、DCT
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產品描(miao)述：
DCR是一(yi)臺裝有渦輪泵的(de)碳鍍儀，可提供細粒度均勻的(de)高(gao)質量(liang)碳膜，適用于(yu)需(xu)要(yao)高(gao)分(fen)辨率和高(gao)質量(liang)表征的(de)樣品，尤(you)其適合FE-SEM，EDS/WDS，TEM，EBSD和薄膜應用研究等(deng)。
產品特點：
• 可進行Flash式(shi)或Pulsed式(shi)鍍(du)碳：Pulsed脈(mo)(mo)沖式(shi)鍍(du)碳：短脈(mo)(mo)沖提供了更(geng)加可控(kong)的沉積方式(shi)，與傳(chuan)統鍍(du)碳相比，碎屑(xie)顯(xian)著減少
• 7’’彩色觸(chu)摸屏：數(shu)據輸入簡單快速；真空度、電(dian)流、厚度等鍍(du)膜參數(shu)可通過觸(chu)摸屏中(zhong)的數(shu)據或(huo)曲線直(zhi)觀監測(ce)；歷史頁面可顯示(shi)300個歷史涂層信息。
• 可(ke)聯(lian)網更新用戶友好軟件(jian)
• 可記錄和繪制涂層參數圖表
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; • 可配高(gao)精度石(shi)英晶(jing)體厚度監測(ce)儀（精度可達1nm）
• 樣(yang)品臺更換簡單：標(biao)準(zhun)旋轉(zhuan)樣(yang)品臺或(huo)選用行星式旋轉(zhuan)樣(yang)品臺。標(biao)準(zhun)樣(yang)品臺高度可調、可傾斜、可旋轉(zhuan)；行星式旋轉(zhuan)樣(yang)品臺為多孔樣(yang)品帶來好(hao)的噴金(jin)效果
• 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸(shu)到PC
• 可(ke)選用碳(tan)棒蒸發源及適配大電流電源
• 符合(he)CE標準(zhun)
產品參(can)數：
1、高(gao)真空渦輪分子泵90 l/s Leybold
2、二級旋(xuan)片式真(zhen)空泵(beng)作(zuo)為分子泵(beng)前(qian)級泵(beng)
3、全(quan)量程(cheng)真空計(ji)
4、真空倉：外(wai)徑(jing)170mm，140mm
5、0-25 A脈沖直(zhi)流開(kai)關(guan)電源(yuan)
6、極 限 真空度：小于50×10-6 Torr
7、尺寸：450 x 500 x 370 mm (H × W × D)
8、電源：220V-240V，50 / 60HZ-10A
9、用于精(jing)(jing)確控制真空(kong)壓(ya)力的精(jing)(jing)密計量(liang)閥
10、電子(zi)控(kong)制快門(men)
11、涂(tu)層(ceng)參數實(shi)時圖
12、USB數據傳輸端口
13、運輸重量：46kg
六、DSCT
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產品(pin)描述：
DSCT是一(yi)臺多功能的(de)涂(tu)布系統，集(ji)濺(jian)射鍍膜機(ji)和纖(xian)維碳鍍膜機(ji)于(yu)一(yi)體(ti)：在一(yi)臺儀器中具有(you)可互(hu)換的(de)磁頭。
DSCT高(gao)真空(kong)鍍(du)膜機，可提供晶粒尺寸很細(xi)的高(gao)質量均勻薄(bo)膜，適(shi)用于需要(yao)高(gao)分辨率和高(gao)質量表征的樣品，如(ru)FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD。
DSCT具(ju)有2''磁控管(guan)陰極，80w直(zhi)流開關(guan)電源和碳(tan)蒸發大電流電源，也可用(yong)于科研(yan)及不同薄膜的應(ying)用(yong)研(yan)究中。
產品特點：
• 高真(zhen)空渦(wo)輪泵(beng)90 L/S（Leybold）+二(er)級旋片式真(zhen)空泵(beng)的前級泵(beng)，為儀(yi)器提供了(le)潔(jie)凈的高真(zhen)空，減少了(le)污(wu)染(ran)。
• 涂層速率可控，可獲得更細的晶(jing)粒結(jie)構
• 可進行Flash式(shi)或Pulsed式(shi)鍍(du)(du)碳(tan)：Pulsed脈沖(chong)式(shi)鍍(du)(du)碳(tan)：短脈沖(chong)提供了更加(jia)可控的沉積方式(shi)，與傳統鍍(du)(du)碳(tan)相(xiang)比(bi)，碎屑(xie)顯著減少
• 可手(shou)動(dong)或(huo)自(zi)動(dong)，根據時間或(huo)根據厚(hou)度進行濺射
• 7’’彩色觸摸(mo)屏：數據(ju)輸(shu)入(ru)簡單快速；真空(kong)度(du)、電(dian)流、厚度(du)等鍍(du)膜參數可通過(guo)觸摸(mo)屏中的數據(ju)或曲線直觀監測；歷史頁面(mian)可顯示300個歷史涂層信息。
• 觸摸屏直觀地控制(zhi)涂(tu)布過程，數據輸(shu)入簡單快速
• 可通(tong)過網(wang)絡更(geng)新的用戶(hu)友好軟件
• 可記錄(lu)和繪制涂層(ceng)參數圖
• 可配高(gao)精度(du)石(shi)英晶體厚度(du)監測儀(yi)（精度(du)可達1nm）
• 樣(yang)品(pin)(pin)臺(tai)(tai)簡單：標準旋(xuan)轉(zhuan)樣(yang)品(pin)(pin)臺(tai)(tai)或(huo)選用行星(xing)式(shi)旋(xuan)轉(zhuan)樣(yang)品(pin)(pin)臺(tai)(tai)。標準樣(yang)品(pin)(pin)臺(tai)(tai)高度可調(diao)、可傾斜、可旋(xuan)轉(zhuan)；行星(xing)式(shi)旋(xuan)轉(zhuan)樣(yang)品(pin)(pin)臺(tai)(tai)為(wei)多孔樣(yang)品(pin)(pin)帶來(lai)好的噴金效(xiao)果。
• 可(ke)通過USB端口將曲線和(he)沉積過程數據傳輸到PC
• 符合CE標準
產品參數：
;1、極 限真空：小(xiao)于(yu)5×10-6 Torr
2、獨(du)立于壓力自(zi)動控制濺(jian)射速率
3、用于精(jing)確控(kong)制真空壓(ya)力(li)的(de)精(jing)密(mi)質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計（MFC）
; 4、可通過USB端口將曲(qu)線(xian)和沉積(ji)過程數據傳(chuan)輸到PC
; 5、設(she)施：220V-240V，50/60HZ-16A
6、運輸重量：42kg
整體(ti)型(xing)號的選(xuan)型(xing)：
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儀(yi)器特點：
VacCoat擁有離子濺射(she)噴金(jin)儀、鍍(du)碳儀，以及集噴金(jin)與鍍(du)碳于一(yi)體的(de)型(xing)號，用(yong)(yong)戶可根據(ju)不用(yong)(yong)應用(yong)(yong)，選擇(ze)高(gao)真(zhen)空以及低真(zhen)空的(de)不同型(xing)號。
VacCoat鍍膜儀(yi)，可提供晶(jing)粒尺寸很細的高質量均勻薄膜，十分適用(yong)于高 分辨(bian)率和樣品的表征。
•噴金系統具有2''磁控管陰(yin)極(ji)，磁控建設，減少樣品的 損 傷；
•鍍碳系(xi)統配備(bei)80w直流(liu)開關(guan)電(dian)源(yuan)和(he)碳蒸(zheng)發大電(dian)流(liu)電(dian)源(yuan)，也可用于科研及不同薄膜的應用研究中。
•鍍(du)碳(tan)系(xi)統可進(jin)行Flash式或Pulsed式鍍(du)碳(tan)：Pulsed脈沖式鍍(du)碳(tan)：短脈沖提(ti)供了更加可控(kong)的(de)沉積方式，與傳統鍍(du)碳(tan)相比(bi)，碎屑顯著減(jian)少
•高真(zhen)空型號配(pei)備渦輪(lun)分子泵90 l/s Leybold
•使用二級旋(xuan)片式真空泵作為分子泵前級泵
•配有全量程真空計
•可(ke)選用高精度石英晶體(ti)厚度監測器，測厚精度可(ke)達1nm。
; •觸摸屏(ping)直觀地(di)控制涂布過程，數據輸入簡單快(kuai)速(su)
•可(ke)通過網絡更新的用(yong)戶友好軟(ruan)件
•可控(kong)涂(tu)層速率，可獲得更細的晶粒結構(gou)
•可手動或自動，根(gen)據時間或根(gen)據厚度進行濺射，建(jian)設操(cao)作靈活簡便
•可記錄(lu)和繪制涂層參數圖
•配備電控快門
•樣品臺更(geng)換(huan)簡(jian)單：標準樣品架，高度可調可選(xuan)轉(zhuan)；也可選(xuan)用適合多孔樣品的行星式旋轉(zhuan)樣品架
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